真空烧结炉主要用于活性金属和难溶金属以及硬质合金，磁性材料和不锈钢等的烧结。真空烧结炉实际上是低压(减压)烧结。真空度愈高，愈接近中性气氛，愈与材料不发生任何化学反应。 　　真空烧结炉的主要优点是： 　　1、有利于排除吸附气体，对促进烧结后期的收缩作用明显。 　　2、真空烧结炉对硅，铝，镁，钙等杂质或其氧化物的排除，起到提纯材料的作用。 　　3、可改善液相烧结的润湿性，有利于烧结过程中的收缩和改善合金的组织结构。 　　4、是理想的惰性气氛，当不宜用其他还原性或惰性气体时，或者对容易出现脱碳，渗碳的材料，均可采用真空烧结炉。 　　5、真空烧结炉减少气氛中的有害成分(水，氧，氮等)对产品的玷污。例如，电解氢中的含水量要求降至***-40℃较为困难;而真空烧结时，真空度只要在数百Pa就相当于含水量为***-40℃。 　　真空下的液相烧结，发生粘结金属的挥发损失是个重要问题。这不仅改变和影响合金的成品成分和组织结构，而且对烧结过程本身也起阻碍作用。粘结金属的挥发损失，主要是在烧结后期(即保温阶段)发生。保温时间长，粘结金属的挥发损失就多。为此，化物杂质，水分等与材料中的碳发生反应，生成CO随炉排出。此时真空烧结炉炉压明显提高，合金中的总碳量降低。显然，碳含量的变化取决于原材料粉末中的氧含量以及烧结时的真空度。两者越高时，生成一氧化碳的反映越容易进行，脱碳也越严重。 　　熔盐电解炉的真空烧结与气体保护烧结的工艺没有根本区别，只是烧结温度低一些，一般可降低到100~150℃。这有利于延长真空烧结炉的寿命和降低电能的消耗。

　　气相沉积炉整体结构采用井式碳化炉结构。主要由炉体系统、控制系统、真空系统、冷却系统、进气系统、过滤系统、操作平台等部分组成组成。 　　气相沉积炉系统主要由炉盖、炉体、炉底、保温层、发热体、引电体组成，炉壳为圆柱形结构，分炉体和炉顶盖、炉底三部分，主要使用Q235钢材，炉体、炉盖、炉底均为夹层水冷结构，夹层内设置蛇形导流板，既可以引导水流流向又可以加强炉体壁抗压能力，炉体上设置电极座、测温座。抽气口位于炉顶盖或炉体侧壁上。 　　加热及保温层，发热体采用带式合金发热体，分三个加热区，三角形加热，分布在炉腔四周;保温层：采用全纤维炉衬复合保温结构，既可以让炉膛整洁成型又可以保持良好的保温性能，成型后的保温层分别固定在炉壁、炉盖上，操作与维护非常方便。 　　气相沉积炉的炉胆采用高温耐热钢，为保证高温真空下的工作强度，采用双真空结构。炉胆内外同时抽真空，并设置手动及自动压差阀。考虑真空放电现象，采用低电压大电流的供电方式。