真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。下面，洛阳八佳科技小编就为您介绍真空烧结炉的应急措施. 　　一. 冷却水异常 　　1、确认加热电源已停止。 　　2、炉外发生漏水，冷却水量异常时，应尽快采取应急措施，如能保证水量，请继续保持真空，如不能采取应急措施，保持原状，确认设备冷却下来。 　　3、冷却水发生异常时，设备处于停止状态，马上接通紧急用冷却水。 　　4、在高温(超过200℃即视为高温)时，如果冷却水停止了，如果不能紧急送水，水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。 　　二 压缩空气的停止 　　1、压缩空气异常报警时，设备处于停止状态，应尽快到备用的压缩机房，让其恢复工作。 　　2、真空中如压缩空气异常报警，且恢复需要较长时间时，则终止真空，让设备停下来。 　　三 停电 　　1、停电时，如果断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。 　　2、如果在非升温、加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，继续运转如需要较长时间，则将设备保持原状。 　　3、如果正在加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，如果需要较长时间时，则保持原状，让设备自然冷却下来。 　　四 加热电源掉电 　　1、水压低，当水压低于0.15MPa，压力表报警。 　　2、接地故障。 　　3、真空放电，水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固，与反射屏绝缘要好。 　　4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障，掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。 　　五 充气气体(氩气或氮气)停止 　　1、抽真空开始前，气体充入时间长或者无法充入时，请确认气体管路是否被堵塞。 　　2、如气体管路没问题，检查电磁阀及气体充气阀的动作，为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。 　　3、向真空室内充气不能停止的情况下，泄压阀动作如泄压阀动作时，要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。 　　4、确认气体充气配管是否有漏气的地方，如有会影响制品质量。 　　六 真空室压力恶化 　　1、真空排气时间比通常长时，应把设备停下来进行检查，根据真空室内构造物不同状态下放气的影响，也有导致压力升高的情况。 　　2、通过压力上升测试或者用氦气检漏来确认是漏气还有放气的影响。 　　在真空和保护性气氛中，对金属、陶瓷及一些难熔金属中间化合物粉末加热烧结，要获得一定密度和具有一定机械性能的材料时，一般采用两种工艺;即有压烧结和无压烧结。有压烧结工艺是将粉状材料置于真空和保护性气氛中的高碳模具中，高温加热到软化状态时，加压成型。这种工艺需要一种真空热压烧结才能实现。该烧结炉具有温度高、真空度高、热压力高的特点。目前这种炉型在我国还未见定型产品。

　　真空速凝炉是生产合金(永磁材料)的专用设备，是先进铸片工艺取代传动铸锭工艺的理想替代设备。是利用真空感应熔炼法，把坩埚封闭在真空室中，利用电磁感应产生的涡流作为热源，在真空或惰性气体状态下把合金(或是导电材料)原料进行脱气、熔化处理，通过坩埚倾炉系统浇铸，经过中间包在水冷辊上急速凝固后形成薄片，再在水冷盘上进行慢速降温，在拨凿的搅拌下，把合金降到30℃左右，形成大不薄厚均匀的合金薄片的一种熔炼设备。 　　热处理工艺一般包括：加热、保温、冷却三个过程，有时只有加热与冷却两个过程。这些过程都是真空速凝炉热处理工艺的互相衔接，不可间断。 　　加热是热处理中重要工序之一，真空速凝炉对金属热处理的加热方法很多，早期是采用木炭和煤作为热源，进而使用液体与气体燃料。电加热易于控制，且无环境污染;利用这些热源可以的直接加热，也可以通过熔融的盐或是金属，以至浮动粒子进行间接加热。 　　此外，加热温度是热处理工艺的重要工艺参数之一，选择和控制加热温度是保证真空烧结炉热处理质量的主要问题;加热温度随被处理的金属材料和热处理的目的不同而异，但一般都是加热到相变温度以上，以获得高温组织。